公开号：CN 101281939A

         申请号：200810123612.4

         申请日：2008.5.26

         公开日：2008.10.8

         申请人：江苏天保光伏能源有限公司

         发明名称：一种制造高效硅太阳能电池片的方法

         摘要：一种制造高效硅太阳能电池片的方法，涉及一种制造高效硅太阳能电池片的工艺方法。采用氧化物磷源或二氧化硅磷乳胶源直接印刷或喷涂在P型硅片上，直接形成浓磷扩散区的图形成为浓磷扩散源，然后在三氯氧磷的气氛中一次扩散成横向N+N高低结，再依次采用周边刻蚀、去磷硅玻璃、淀积氮化硅膜、丝印正反面电极和背铝、氢钝化、烧结。本发明只需一次扩散就形成N+N高低同质结，无须生长二氧化硅来屏蔽，也不用二次光刻成浓、淡磷两次扩散区，便可省去了氧化、光刻、二次扩散等多道工序，同样可以实现N+N高低结，达到提高转换效率的目的。